伴随着产业的不断升级，在航空航天、生物工程制药、医疗、精密机械制造等高科技领域，对于高端设备的要求也越来越高。比如在测试、检测、加工等应用中，对于设备的速度稳定性、几何精度等有着相当高的要求，但传统的机械导轨直线
电机平台大多数只能满足微米级精度。而气浮导轨直线电机平台能实现纳米级精度，是更好的解决方案。
北京瑞钰研发了直线电机气浮平台——RUQF系列，该系列气浮直线台具有以下特点：
1、非接触式结构：
RUQF系列气浮直线台采用非接触式气浮轴承、直线电机驱动和光栅尺闭环反馈组成，确保了在使用时免维护运行，因为运动元件间没有机械接触，随着时间的推移，不会出现磨损或性能下降，使用寿命几乎是无限的，气浮轴承不需要润滑，只需要清洁及干燥的气体，是用户应用的理想选择。
2、高精度、高稳定性：
气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮运动台的直线度、平面度，Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高，同时由于非接触式，伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃，定位精度和重复精度得到了显著提高。
3、密封管理
采用独特的密封装置，不影响直线台的精度性能，在应用中防止异物进入气浮导轨。
4、可定制化
可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨，提升精度性能，行程也可接受定制。
5、该系列集成了气浮导轨、直线电机、高精度光学
编码器、高柔屏蔽线缆等零部件，再额外搭配上高性能驱控模块，使整体产品的性能及精度达到了新的高度。
（1）、气浮导轨
气浮导轨顾名思义是利用压缩空气在动子和定子间形成的气膜支撑负载质量。不同于传统机械导轨，气浮导轨是完全非接触、零摩擦、零损耗、无需润滑的。特别适用于无尘车间等对洁净度有严格要求的场合。只要供给气浮导轨以洁净且干燥的的压缩空气，原则上它的使用寿命是无穷尽的。
（2）、气浮垫
气浮模组大多会使用到气浮垫(一种包含气浮面和气流约束机构的零件)作为气浮导轨的一部分，它主要分三类：小孔结构、小孔和导流槽结构、多孔介质结构。
小孔结构(左)小孔和导流槽(中)多孔介质(右)
北京瑞钰RUQF系列采用小孔气浮垫，每片气浮垫可提供近100N/μm的刚度。高刚度就意味着大负载、高控制带宽、出色的响应和跟随性能。并且，气浮垫有着天生的均化特性。配合精密加工的气浮底座，可以提供出色的几何精度，是高性能和高性价比的完美组合。
双向重复定位精度 <0.084 (± 0.042) μm
俯仰精度 = 1.75 arcsec
平面度 = 0.042 um
直线度 = 0.057 um
（3）、RUQF系列气浮平台采用无铁芯直线电机
该系列产品采用无铁芯直线电机，拥有无齿槽力、零磁吸力和极低的动子质量等优势。可以兼顾高速度、高加速度和出色的速度波动率。配合高性能光学编码器和
运动控制模块，可以实现纳米级别的静态抖动。
（4）、高柔线缆
在设计中，特别优化了线缆的弯曲半径和集成方式。即便是在最坏的情况下，模块化的线缆设计使得快速替换成为可能，进而减小了设备可能的停机时间。在高柔性无屏蔽线缆的基础上，针对追求稳定性能应用的客户，提供了带屏蔽层的线缆选项。
6、专业解决方案
北京瑞钰RUQF系列的优势不仅是因其拥有更高的精度，能够满足各行业中一些高精密设备的需求。同时，气浮的结构设计没有物理接触，规避了一般机械导轨运动过程中因摩擦而产生颗粒物的问题，从而达到更高的洁净等级，为更多洁净室等级应用提供适合的解决方案。
在追求极致精度的时代背景下，北京瑞钰科技有限公司始终坚持技术创新与品质至上。RUQF系列直线电机气浮平台以其
非接触、高精度、长寿命、可定制的综合优势，正在成为众多高科技领域不可或缺的核心运动单元。
未来，我们将继续深耕精密运动控制技术，致力于为全球客户提供更具竞争力的
智能化、高精度运动解决方案，助力中国智造迈向世界前沿。
