重复定位精度达±50nm得超精密气浮平台

  精密气浮平台的工作原理是基于空气轴承的原理，让负载板浮在气浮导轨或气浮轴承上，实现无摩擦、无振动的平滑运动。
气浮平台的气浮直线导轨常见的形式有：重力平衡式气浮导轨、闭式气浮导轨、永磁预载式气浮导轨、真空吸附式气浮导轨。
常见的气浮孔结构为：小孔节流结构、多孔质结构。气浮平台的高直线度和平面度依赖于气浮导轨，材质分为铝合金、大理石及碳化硅陶瓷等，通过其高压气膜的压力分布、气源压力、节流器、均压槽深度等，匹配合理气膜刚度的参数区间，使得气浮平台有着出色的性能精度，我公司生产的重复定位精度达±50nm超精密气浮平台，具备高直线、平面度、高精密指标，是目前国内性能卓越得气浮运动平台之一。
我公司生产的气浮线轨平台可作为单轴使用，或根据应用与其它轴组装成系统，是半导体晶圆检测、晶圆切割、晶圆封装等精密加工环节得理想选择，并可广泛应用于半导体检测、PCB板曝光、LCD和OLED面板检测、生物检测、激光加工等行业领域。。
气浮平台有气浮（XYZ）线轨平台与气浮（旋转）转台两类，本次主要介绍气浮线轨平台。
 
 
I、双轴超精密气浮运动台:RUQFGD系列
  
双轴超精密气浮运动台：RUQFGD 系列产品说明
一、产品概述
RUQFGD 系列双轴超精密气浮运动台，是专为高精度定位需求而设计的先进设备。凭借卓越的气浮技术，该系列运动台在纳米级精度运动控制方面表现出色，广泛应用于半导体制造、光学检测、精密仪器制造等对精度要求极高的领域。
 
二、产品特点
1、纳米级超高精度
定位精度：X、Y 轴定位精度可达 ±0.05μm，重复定位精度更是高达 ±0.02μm，能够满足各种超精密加工和检测任务对定位准确性的苛刻要求。
直线度：在运动过程中，X 轴直线度为 0.1μm/200mm，Y 轴直线度为 0.1μm/200mm，有效减少运动偏差，确保运动轨迹的高度直线性。
2、气浮技术优势
无摩擦运动：采用气体静压轴承技术，使运动部件在气体薄膜上悬浮运动，完全消除了固体摩擦带来的磨损、发热及振动问题，极大提高了运动的平稳性和精度保持性。
高刚度：气浮系统具备高刚度特性，能够承受较大的负载而不影响运动精度，在加载额定负载时，运动台的变形量极小，确保加工或检测过程的稳定性。
3、高速度与加速度
快速响应：具备优秀的动态性能，X、Y 轴最大速度可达 500mm/s，最大加速度为 1m/s²，能够快速准确地完成定位和运动切换，有效提高生产效率。
4、结构设计优化
紧凑布局：整体结构紧凑，占用空间小，便于集成到各种复杂的设备系统中，同时优化的结构设计增强了运动台的整体刚性，减少外界振动干扰。
花岗岩基座：运动台基座采用优质天然花岗岩，具有极高的硬度、稳定性和耐磨性，热膨胀系数低，能有效抵抗环境温度变化对精度的影响。
5、先进控制系统
多轴联动控制：配备先进的多轴运动控制器，可实现 X、Y 轴高精度的联动控制，满足复杂轨迹运动需求，如圆弧、螺旋线等运动路径的精确控制。
实时监测与反馈：集成高精度位移传感器，实时监测运动台的位置信息，并将反馈信号传输至控制系统进行实时调整，确保运动精度始终保持在设定范围内。
三、应用领域
半导体制造：用于光刻机、刻蚀机等设备中的晶圆定位与对准，以及芯片封装过程中的高精度贴装工艺，确保芯片制造的高良品率。
光学检测：在光学元件的检测和制造设备中，如干涉仪、显微镜等，为光学元件的精密定位和扫描提供高精度运动平台，保证光学检测的准确性和可靠性。
精密仪器制造：适用于电子显微镜、原子力显微镜等精密仪器的样品台，实现样品的纳米级定位和操控，满足高端科研和工业检测的需求。