服务热线
董小姐:19930237990, 王先生:13718806882
| BasicModel | RU600TA-X-300 | RU600TA-Y-300 | |
| 行程 | 300mm | 300mm | |
|
定位精度 |
补偿后 | ±0.5µm | ±0.5µm |
| 未补偿 | ±2.0µm | ±2.0µm | |
| 重复定位精度 | ±0.4µm | ±0.4µm | |
| 直线度 | ±0.38µm | ±0.38µm | |
| 平面度 | ±0.75µm | ±0.75µm | |
| Pitch（俯仰） | ±3arcsec | ±3arcsec | |
| Yaw（偏摆） | ±3arcsec | ±3arcsec | |
| 最大速度 | 0.7m/s | 0.7m/s | |
| 最大加速度 | 0.8G（无负载） | 0.8G（无负载） | |
| 负载能力 | 中心 | 40.0kg | 80.0kg |
| 侧边 | 20.0kg | 30.0kg | |
| 供气压力 | 0.45~0.55mpa | 0.45~0.55mpa | |
| 驱动 | 直线电机 | 直线电机 | |
| 导轨 | 气浮导轨 | 气浮导轨 | |
| 动子质量（无负载） | 10kg | 14.3kg | |
| 自重 | 26kg | 68.2kg | |
| 材料 | 铝-大理石 | 铝-大理石 | |
Z轴
| BasicModel | RU600TA-Z-19 |
| Pin杆行程 | 19mm |
| 吸盘直径 | 12寸 |
| 定位精度 | ±5µm |
| 重复定位精度 | ±3µm |
| 材料 | 铝 |
气浮轴承移动台凭具有无摩擦、高精度、洁净无污染的特性，广泛应用于对运动控制要求极高的领域，尤其在半导体、精密制造、光学检测等高科技产业中发挥关键作用。
1.采用先进的气体静压轴承技术，使运动部件悬浮于气体薄膜之上，彻底消除固体摩擦带来的磨损、发热及振动问题，实现超平稳、无卡顿的运动，极大提升运动精度与稳定性，延长设备使用寿命。
2.高刚度与承载能力：气浮系统采用磁预载，赋予运动台出色的刚度，能够在承受较大负载的同时，保持极小的变形量。
3.配备300mm直径Wafer Chuck,满足12寸Wafer装载，配备顶Pin机构，可实现与机械手的联动装载动作。
4.导轨采用优质大理石，提供高刚度、低热膨胀系数，保证整体平台可靠性。
气浮轴承移动台技术优势总结
| 特性 | 气浮轴承移动台 |
| 摩擦类型 | 空气膜悬浮（零摩擦） |
| 精度 | nm级（最高达0.1nm） |
| 洁净度 | 无油无尘（Class 1标准） |
| 适用速度 | 高速（可达2m/s） |
| 维护成本 | 仅需洁净压缩空气 |
气浮轴承移动台使用场景：
一、半导体制造与检测
1.晶圆加工与检测
光刻机对准：在EUV光刻机中实现纳米级（<5nm）定位，避免机械振动影响图案精度。
缺陷检测：配合AOI（自动光学检测）系统扫描晶圆表面，检测28nm以下制程的微观缺陷。
晶圆传输：在Class 1洁净环境中搬运300mm/450mm晶圆，无颗粒污染风险。
2.先进封装
Chiplet异构集成：支持2.5D/3D封装中的多芯片高精度对准（±1μm）。
TSV硅通孔检测：通过气浮平台稳定移动，实现垂直通孔的微观成像。
二、精密光学与光电领域
1.光学元件加工
自由曲面抛光：用于航天级透镜、AR/VR光学模组的超光滑表面加工（粗糙度<0.1nm）。
离轴抛物面镜检测：通过多自由度气浮台调整光学路径，消除装夹应力。
2.激光系统
高能激光校准：在惯性约束核聚变（ICF）装置中精准定位靶材。
光刻机物镜调校：调节Zeiss/ASML光学模块的波像差至λ/50（λ=632nm）。
三、生物医疗与纳米技术
1.生命科学仪器
冷冻电镜（Cryo-EM：支撑样品台的超低温（-180℃）无振动环境，分辨率达0.3Å。
基因测序仪：高通量DNA测序时保持载玻片纳米级平稳移动。
2.纳米操纵与计量
原子力显微镜（AFM：实现探针的亚埃级（0.1Å）定位扫描。
量子点组装：在量子计算机研发中精确排布半导体量子点阵列。
